1. 采购货物有关信息
设备或材料名称：磁控溅射系统
参数：
序号 |
货物/服务名称 |
详细参数要求 |
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磁控溅射系统核心指标： 1、真空度优于1*10-8 mbar(经烘烤除气后)； 2、样品台最高加热温度：800℃； 3、腔体设计可最多可安装5个两英寸阴极； 4、样品尺寸兼容4英寸以下。
详细参数要求见下表： |
1 |
定制高真空镀膜腔体 |
Ø 柱状腔体，顶盖法兰为CF400，材质为316L 不锈钢，符合高真空要求的不同尺寸法兰口，按照图纸生产； Ø 除顶部法兰外全部采用NWCF 标准，内表面抛光，外表面拉丝或者喷砂,； Ø 经过等离子表面处理及高温烘烤处理，满足高真空要求； Ø 所有焊接口符合高真空要求； Ø 顶部法兰采用双胶圈密封，配备顶部法兰气动打开装置，方便更换靶材； Ø 极限真空优于1*10-8mbar（烘烤后） |
2 |
真空泵组 |
Ø 中科科仪分子泵，FF-160/700，对N2气 700L/s抽速, CF150法兰接口；数量1个 Ø Edwards 15i无油涡旋机械泵，15 m3/h 抽速；数量1个 Ø 角阀及抽气管路，实现抽气的自动控制，抽气互锁等功能；数量1个 |
3 |
真空测量 |
Ø 全量程复合真空计 l 数量： 1个； l 品牌：普发，PBR260 l 接口：DN40CF l 测量范围：1x10-9mbar至 1x103 mbar； 描述： 内置皮拉尼规与离子规，自动切换真空显示，充气时自动保护离子规，排气时自动打开离子规； Ø 高精度电容薄膜真空计 l 数量： 1个； l 品牌： inficon； l 型号： CDG025D； l 接口类型： DN16CF； l 测量范围： 1x10-4 mbar至 1.1 x10-1 mbar，与闸板阀共同实现气压的精确控制 |
4 |
样品台 |
Ø 配备Z-R旋转升降模块，可以实现样品的抓取与旋转，旋转速率可调。 Ø 配备PBN加热样品台，加热器最高温度可达800摄氏度，可在氧气气体氛围内加热。配套温控器和温控电源实现温度的控制； Ø 推荐温度范围：室温到 800℃，控温精度±1℃； Ø 带主挡板（Main Shutter）； Ø 样品台兼容 4 英寸以下样 Ø 可加偏压：-200V，可实现对样品的清洗，改善样品的致密性等参数，配置真空馈入装置。 Ø 配备马达，实现360度可调速度的旋转，配合倾斜溅射改善均匀性。 Ø PC端友好控制软件，可自动实现对样品台的控制。 |
5 |
直流电源 |
Ø 型号：德国ADL GS05/800 Ø 800V电压，500W功率 Ø 配备通信接口，方便与电脑或PLC通信 Ø 数量：1个 |
6 |
控制系统 |
Ø 配备多路PLC与PC通信，自动控制泵组启停，实现硬件互锁，保证系统稳定运行。 Ø 数量1套 |
7 |
安装调试实施及售后服务 |
Ø 安装调试：在仪器到达前1~2个月，中标人应通知用户水、电、气及其他仪器必备辅助设施的具体要求，从而让用户提前做好仪器安装准备。中标人应在收到用户通知后4周内派遣制造商的技术人员前往用户指定地点进行安装调试。中标人负责系统包装、运输及保险。 Ø 培训服务：必须由制造商资深工程师对用户操作人员进行全面系统的培训，包括设备基本原理、设备安全及注意事项、设备操作、工艺流程、样品制备演示、设备基本维护及远程技术支持演示。 Ø 售后服务：自双方现场验收合格，主机及配套设备保修期1年，保修期内提供全免费保修。 Ø 维修响应时间：对相关的技术故障能在48小时内及时进行响应，并通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在5个工作日内仍不能解决问题：供方工程师5个工作日上门检修。 Ø 免费保修期后，中标人提供终身维修及技术服务，保证零配件的供应，零配件价格享有中标价同等折扣；若某些零部件供应商停止生产，中标人有义务协调各方提供替代解决方案。 |
数量：
序号 |
产品 |
数量/单位 |
1 |
定制高真空镀膜腔体 |
1套 |
2 |
真空泵组 |
1套 |
3 |
真空测量 |
1套 |
4 |
样品台 |
1套 |
5 |
直流电源 |
1套 |
6 |
控制系统 |
1套 |
7 |
安装调试实施及售后服务 |
1套 |
交货期：合同签订后6个月
交货地点：澳门澳博app网址北区第一馆
是否接受进口产品：否
2、采购预算（最高限价）：49.99万元
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：按照以下要求准备报名信息发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。
邮件标题：公司名称+采购项目名称；
邮件内容：需注明公司名称，地址，销售人员全名及联系方式；
附件：法人证书扫描件，法人授权书扫描件（含法人及销售人员身份证扫描件），采购需求中列出的相应资质证明，整理为同一个PDF文件发送。不符合要求者不予接收；
截止报名时间：2023年7月27日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2023年7月28日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
7月28日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章，报价单请单独密封）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区澳门澳博app网址北区第一馆
史老师收，电话：14735869607
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
史老师，邮箱：smeshis@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
窗体底端
